HPG400 Inficon Verkauf in Deutschland
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Technische Spezifikation
Messbereich (Luft, N2) mbar
Torr 2×10⁻⁶ … 1000
1,5×10⁻⁶ … 750
Genauigkeit
10 -5 … 1 mbar % des Messwerts ±15 (1)
Wiederholbarkeit
10⁻⁵ … 10⁻¹ mbar % des Messwerts 2
10 -1 … 100 mbar % des Messwerts 30
Temperatur
Betrieb (Umgebung) °C 0 … +50
Lagerung °C -20 … +70
Flanschheizung °C 80
Ofenelektronik entfernt °C 150
Versorgungsspannung V (DC)
A (DC) 20 … 28
0,8
Vakuumexponierte Materialien Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, Edelstahl, Glas